@TechReport{BarretoDelB:1993:PaI,
author = "Barreto, Regina Pereira and Del Bosco, Edson",
title = "Sintetizacao de filmes de diamante assistido por jato de plasma
gerado por uma descarga eletrica tipo arco em baixa pressao .
Parte I",
institution = "INPE",
year = "1993",
type = "PRP",
number = "INPE-5487-PRP/175",
address = "Sao Jose dos Campos",
keywords = "FISICA DE PLASMA.",
abstract = "Neste relatorio, apresenta-se o projeto, construcao e montagem da
fonte tipo jato de plasma, a qual corresponde a primeira parte de
um trabalho sobre sintetizacao de filmes de diamante pela tecnica
CVD({"}Chemical Vapor Deposition{"}), assistida por um jato de
plasma gerado atraves de uma descarga eletrica CC(corrente
continua) tipo arco em baixa pressao ({"}arcjet{"}). Tambem, e
apresentado um historico sobre a sintetizacao de filmes de
diamante, destacando-se as importancias tecnologicas para o
aproveitamento do diamante devido as suas propriedades unicas, uma
descricao das tecnicas de producao de diamantes a partir da fase
gasosa e uma pequena introducao a fisica de arcos.",
label = "6514",
pages = "35",
ibi = "6qtX3pFwXQZ3r59YCT/GUeRb",
url = "http://urlib.net/ibi/6qtX3pFwXQZ3r59YCT/GUeRb",
targetfile = "5487.pdf",
urlaccessdate = "13 maio 2024"
}